一次測量，實現粗糙度、波紋度、輪廓分析

·實現全範圍内的粗糙度、波紋度測量

·X向采用新型數字式傳感器，精度更高，Z1采用自主研發精度多段式電感傳感器

多段式精度傳感器具有量程，較大限度保持了傳感器的原有精度。

采用剛性精度免維護直線運動導軌，精密控制系統。

采用速并行數據采集單元，硬件觸發、硬件高速采樣，無延時；足夠密集及穩定的數據源為後期數據處理、計算提供有力的保障。

規格号	參數
測量範圍	X軸	0-200mm可選
	Z軸	0-620mm可選
	Z1軸	6mm,2mm
線性精度	輪廓	≤±0.07%f.s.(95mm測杆)
	粗糙度	≤±(12nm+3%)

輪廓測量：各種類型工件表面的線要素，點要素、點與點的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑，可進行直線度分析、凸度分析。

輪廓分析：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr

粗糙度測量：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr

波紋度參數：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr