技術特點：
1、三軸均選用對溫度不敏感的花崗岩材料，溫度效應相同，大程度降低溫度對精度的影響。
2、X導軌采用技術-精密“L”型橫梁，重量輕，重心低，雙向剛性強，動态誤差小，使精度更加穩定。
3、關鍵部件采用航空鋁合金壓鑄成型，經工藝處理，保證了部件的長期穩定性。
4、鋁合金框架，在保證剛度的前期下，程度降低了重點，為設備速、平穩運行提供了保證。
5、核心部件均選用品牌，為設備的精度、穩定和效率提供了保證。
6、支持觸發、掃描和非接觸式探測系統，并具備增加自動更換架、外挂光學、轉台等選項。